在半导体工业链中,刻蚀设备被誉为芯片制作的“微观手术刀”,其作用是将光刻机制作的电路图画准确转移到晶圆外表,经过物理或化学方法去除剩余资料,构成纳米级结构。刻蚀工艺的精度直接决议芯片的性能与能效,尤其是在5纳米及以下先进制程中,原子级的差错操控成为技能中心。
刻蚀技能大致上能够分为干法刻蚀(如等离子体刻蚀)和湿法刻蚀,其间干法刻蚀因高精度优势成为干流。按资料分类,刻蚀设备又分为介质刻蚀、硅刻蚀和金属刻蚀三大类。
中微公司(AMEC)的中心竞争力集中于介质刻蚀范畴,尤其是电容耦合等离子体(CCP)技能,该技能适用于氧化物、氮化物等高硬度资料的精细加工,大范围的应用于逻辑芯片和存储芯片制作。
中微公司成立于2004年,创始人尹志尧在硅谷堆集近30年半导体设备研制经历后,以60岁之龄回国创业。彼时我国半导体设备简直完全依靠进口,中心技能被美日企业独占。尹志尧凭仗团队的技能堆集,从零开端打破专利壁垒,于2007年推出首台国产刻蚀机,打破世界巨子独占。
2010年代,中微逐渐霸占65纳米至5纳米工艺,2023年其刻蚀机加工精度到达皮米级(千分之一纳米),跻身全球榜首队伍。凭仗“双台机”技能(两个反响腔体并行作业),中微在功率与本钱上构成差异化优势,成功打入台积电、SK海力士等尖端晶圆厂供应链,2024年全球商场占有率跃居第四位。
科创板上市后,中微凭借长时间资金商场加快研制,2024年营收达90.65亿元,同比增加44.73%,刻蚀设备收入占比超80%。一起,国家半导体工业基金(大基金)的支撑进一步稳固了其国产代替的龙头位置。
中微的研制投入继续高增加,2024年研制费用达24.52亿元,同比激增94.31%,占营收份额达27.05%。其研制周期从传统3-5年缩短至2年以内,成功推出LPCVD(低压化学气相堆积)、ALD(原子层堆积)等薄膜设备,并完成量产验证。现在公司在研项目包括六类设备、超20款新产品,掩盖第三代半导体(碳化硅、氮化镓)和Micro-LED等前沿范畴。
中微构建了安稳的本乡供应链系统,要害零部件国产化率超越60%。出产基地方面,南昌和上海临港算计32万平方米的产研基地投产,支撑产能扩张。2025年,其在四川新设子公司,方案出资30.5亿元布局西南商场,进一步辐射中西部半导体工业集群。
尹志尧推广“全员持股”机制,将公司利益与职工深度绑定,激起团队创造力。2024年,职工持股份额达15%,构成共同的“中微特征社会主义”处理模式,助力公司在专利诉讼等外部应战中坚持耐性。
跟着半导体职业进入“资料年代”,中微正加快开发原子层堆积(ALD)、2D资料及量子点技能,以应对3纳米以下制程需求。其EPI(外延成长)设备已进入客户端验证,有望在逻辑芯片和存储芯片范畴完成新打破。
国内晶圆厂扩产潮继续,2025年我国大陆方案新增产能占全球28%,为中微供给宽广商场。一起,公司活跃拓宽东南亚和欧洲商场,方针将海外营收占比从10%提升至30%。
虽然营收快速地增加,2024年中微净利润同比下滑8.93%,主因研制投入激增及股权处置收益削减。未来需平衡研制强度与盈余水平,一起经过工业链协同(如与拓荆科学技能合作)构建设备生态,下降对单一产品的依靠。
中微半导体的兴起,是我国高端配备制作业从“跟从”到“并跑”的缩影。经过技能攻坚、处理立异与战略定力,中微不只改写了全球刻蚀设备商场格式,更为我国半导体工业链的自主可控供给了要害支撑。未来,跟着AI、量子核算等新式需求迸发,中微有望在更宽广的舞台上诠释“我国智造”的新内在!
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